主要性能参数：

也可选用数字量光栅，详询厂家。

普通PWM驱动器默认值为5%上限，如需要低于1%速度波动，需要线性驱动器。

平台最大速度取决于有效行程、光栅分辨率以及光栅和驱动器的时钟频率，不同配置会导致此项参数上限值的变化，详询厂家。

此数据为实验室实测数据上限，如有更高要求，需搭配GC-MCS系列控制器，详询厂家。

台溜板（运动部分）为花岗岩材质，可选(铝合金)或（不锈钢304 or 316），金属溜板孔位加工会更方便一些。默认产品分辨率为5nm，为模拟量光栅4096细分后所得，分辨率的改变会导致平台最大速度以及重复定位精度的变化，最高分辨率1nm，可选数字量光栅，详细情况请进一步咨询厂家。

此数据为标定后参数。

外形尺寸图：

实际尺寸会根据客户所需的行程来确定。

溜板上安装孔位及底座安装孔位可根据客户要求加工（需沟通厂家）。

如需要进一步的尺寸信息或者3D图档，请直接联系厂家。

特别注意事项：

1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到最好的性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通

2、所有平台可单独订购，如对设备的精度以及性能要求较高，推荐使用光驰科技自主生产的控制器搭配控制器出货的产品，在出厂检验中都会做针对性的优化和校准，是您高要求使用的首选。

3、气浮平台需搭配空压机、储气罐、冷干机、油水分离器、过滤器、干燥器、调压阀等辅助配件，详细规格请咨询厂家。