平面气浮直线电机检测平台
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采用XY轴共面设计的GCD2T-QXY系列气浮平台拥有比一般XY平台更加优秀的平面度及形位公差，无铁芯直线电机保证了运动轴的运动精度、高动态响应以及运动效果均匀性，花岗岩底座更是为最佳的平面度提供了保证，是晶圆检测以及高精度面型微加工的首选。
平面气浮直线电机检测平台
主要性能参数：
| 型号 | GCD2T-Q100 | GCD2T-Q150 | GCD2T-Q200 | GCD2T-Q250 | GCD2T-Q300 | GCD2T-Q400 | GCD2T-Q500 |
| 行程X轴Y轴（mm) | 100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 400 | 500 |
| 导轨类型 | 平面共轨气浮导轨 | ||||||
| X电机规格 | 三相无铁芯电机持续60N峰值210N | ||||||
| Y轴 | 60N/210N | 60N/210N | 60N/210N | 120N/420N(双驱) | 120N/420N(双驱) | 120N/420N(双驱) | 120N/420N(双驱) |
| 光栅分辨率 | 默认模拟量5nm（4096细分）最高1nm，可升级为数字量 | ||||||
| X轴（上轴）空载最大加速度 | 4G | ||||||
| Y轴（下轴）空载最大加速度 | 2G | 1.7G | 1.5G | 2G | 2G | 1.6G | 1.4G |
| 空载最大速度 | 2m/s | ||||||
| 速度均匀性 | ≤1% | ||||||
| 最大负载（kg) | 15kg | ||||||
| 双向重复定位精度 | ±0.1um | ||||||
| XY轴定位精度(补偿前) | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | ±2.5 | ±3 | ±4 |
| XY轴定位精度(补偿后) | ±0.5 | ||||||
| 直线度 | 0.5 | 0.5 | 1 | 1 | 1.5 | 2 | 2.5 |
| 平面度 | 0.5 | 0.8 | 1 | 1 | 1.5 | 2 | 2.5 |
| 气源工作压力 | 0.3-0.48MPa | ||||||
平台最大速度取决于有效行程、光栅分辨率以及光栅和驱动器的时钟频率，不同配置会导致此项参数上限值的变化，所有直线电机产品默认采用直线开放式光栅 详询厂家。
速度均匀性又称速度误差，与速度所处区间关系较大，速度越慢速度误差比例越大，低于1mm/s的应用，推荐采用线性驱动器。
此数据为实验室实测数据上限，如有更高要求，需搭配GC-K系列控制器，详询厂家，此数据为标定后参数。
外形尺寸图：
GCD2T-QXY尺寸图：
| 尺寸\型号 | 100x100 | 150x150 | 200x200 | 250x250 | 300x300 | 400x400 | 500x500 |
| W | 310 | 360 | 410 | 460 | 510 | 610 | 710 |
| L | 380 | 430 | 480 | 530 | 580 | 680 | 780 |
实际尺寸会根据客户所需的行程来确定。
如需要进一步的尺寸信息或3D图档，请直接联系厂家。
特别注意事项：
1、直线电机平台属于高精度精密设备，因此如果希望得到最好的性能，需要保证足够的使用环境，尤其在使用要求重复定位精度小于1um的设备上，所有指标的复现都需要满足一定的温度、湿度、气压、振动等，详细要求可进一步联系厂家咨询沟通。
2、所有平台可单独订购，如对设备的精度以及性能要求较高，推荐使用光驰科技自主生产的控制器搭配控制器出货的产品，在出厂检验中都会做针对性的优化和校准，是您高要求使用的首选。
3、气浮平台需搭配空压机、储气罐、冷干机油水分离器、过滤器、干燥器、调压阀等辅助配件，详细规格请咨询厂家。
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